| | cool999 | 11 января 2019 | 213 | 0 | Книги / Журналы
Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов.